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              保定工業氣體
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              保定高純氣體的純度和等級的劃分

              2021-04-22 04:29:05

              保定高純氣體分為單質氣體、多元氣體、混合氣體和有機化合物氣體等,所以可將組成氣體的物質或元素,稱為該氣體成分。除本氣體成份外,所含其它物質的多少。例如氮氣的純度,是指除N成份外,含的O2、H2、Ar、CO2、H2O、金屬、塵粒等雜質的多少;氨氣的純度,是指除NH3成份外,含有的O2、N2、CO2、H2O、塵粒等雜質的多少;又如氮和氦的混合氣,是指除N2和He成份外,含有的O2、CO2、H2O塵粒等雜質的多少。


              保定高純氣體純度的提法有多種,如普通純、高純氣體、電子純、特純等,隨著超大規模集成電路(VLSI)和特大規模集成電路(ULSI)的發展,又有VLSI和ULSI級純的超凈氣體。這些提法都不十分確切,只是粗略的講了氣體純度的高低,沒有真正說明氣體純度的大小。


              氣體純度常用的表示方法:用百分數表示,如99%,99.5%,99.9%,99.99%,99.999%,99.9999%,99.99999%等。用“N”表示,如3N,5N,4.8N,5.5N,6N,7N等,N數目與(1)中的“9”的個數相對應,小數點后的數表示不足“9”的數。如4N(99.99%),4.8N(99.998%)、5.5N(99.9995%)、6N(99.9999%)、7N(99.99999%))等。


              根據氣體純度的不同,通常又將氣體純度分為四級,即普通氣體、純氣體、高純氣體和超高純氣體。所謂的高純氣體配管技術,是包括高純供氣系統的正確設計、閥門管件及附件的合理選擇、管道施工、安裝試驗和測試等;是高純氣體供應系統的重要組成部分;是保證高純氣體安全穩定地輸送到用氣點,且符合設備使用要求的關鍵技術。


              高純氣體管道系統工程有著能保證氣體的純度、保證標準氣體流量、壓力穩定和量值傳遞不發生變化等特點,廣泛應用于半導體、集成電路、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫藥、各種實驗室、科研研究所、標準測試等高科技行業。


              保定高純氣體

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